|
TSMC의 EUV용 펠리클 사용으로 EUV 시장 개화할 것
TSMC는 ASML과 Mitsui가 공동개발한 EUV용 펠리클 사용 시점에 대해 검토중인 것으로 확인된다. 2022년부터 3나노 공정 양산을 목표하고 있어 투과율과 내구성이 만족스럽지 못하더라도 EUV용 펠리클을 사용하는 것이 수율과 경쟁 측면에서 유리하다고 판단한 것으로 보인다. EUV용 펠리클 사용 시 EUV 관련 장비들의 수요가 빠르게 올라오면서 동사에 대한 관심 역시 상승할 것이다. 현재 동사는 EUV 용 펠리클을 탈부착 하는 EPMD(EUV Pellicle Mounter & Demounter) 장비와 EUV용 펠리클의 이물질을 검사하는 EPIS(EUV Pellicle Inspection System) 장비, EUV용 펠리클 및 마스크를 오염시킬 수 있는 환경을 검사, 리뷰하는 장비 EPODIS(EUV POD Inspection System)까지 개발 성공했기 때문이다.
EUV용 팰리클 개발 진행 중
양산 시제품 개발까지는 조금 더 시간이 걸리는 것으로 확인된다. 양산 제품 개발에 있어 가장 중요한 부분은 500W 이상에서 견딜 수 있는 내구성이다. 얇은 막의 형태를 지니고 있어 고온에서 견딜 수 있는 SiC 등의 소재로 개발함과 동시에 투과율을 90% 이상으로 높여야 하기 때문에 완성도를 높이는데 고도의 기술을 요하는 것이다. 양산 제품 개발 시 삼성전자 EUV 라인에 적용될 것이다.
투자의견 ‘매수’와 목표주가 40,000원 유지
2021
년 매출액 1,874억(+17.9% y-y), 영업이익 310억(+15.2% y-y)을 달성하는데는 어려움이 없을 것으로 추정된다. 순이익은 360억(+63.6% y-y)으로 1분기에 상장한 자회사 오로스테크놀로지의 지분법 재평가 이익 110억원을 반영했다. 삼성전자의 상반기 출하 증가에 따른 펠리클 부문의 실적 성장과 SK하이닉스의 M16 투자에 따른 칠러 장비 수주가 이어지면서 2분기도 1분기와 유사한 실적 흐름이 이어질 것으로 전망된다. EUV용 솔루션 개화가 다가오고 있다는 점에서 지속적인 관심을 가질 필요가 있다. 이에 투자의견 ‘매수’와 목표주가 40,000원(Upside 46.0%)을 유지한다.
(당사 컴플라이언스 결재를 받았습니다.)
|
